Vieker

Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb

Apprimus Wissenschaftsver

ISBN 978-3-86359-859-4

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Bibliografische Daten

Buch. Softcover

2020

Format (B x L): 14.5 x 20.5 cm

Gewicht: 224

Verlag: Apprimus Wissenschaftsver

ISBN: 978-3-86359-859-4

Weiterführende bibliografische Daten

Das Werk ist Teil der Reihe: Ergebnisse aus der Lasertechnik

Produktbeschreibung

Für die Weiterentwicklung der EUV-Lithographie werden kompakte und langzeitstabile EUV-Strahlungsquellen für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten benötigt. In dieser Arbeit wird eine EUV-Strahlungsquelle auf Basis einer Gasentladung - dem hohlkathodengetriggerten Pinchplasma - bezüglich der im Langzeitbetrieb relevanten Einflussfaktoren untersucht. Signifikante Verbesserungen der Leistungsfähigkeit werden demonstriert und ein technologischer Ausblick vorgestellt.

Autorinnen und Autoren

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Hersteller

Apprimus Wissenschaftsver

Steinbachstraße 25
52074 Aachen, DE

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