Poletkin

Levitation Micro-Systems

Applications to Sensors and Actuators

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Fachbuch

Buch. Softcover

2021

ix, 174 S. 2 s/w-Abbildungen, 91 Farbabbildungen, Bibliographien.

In englischer Sprache

Springer. ISBN 978-3-030-58910-3

Format (B x L): 15,5 x 23,5 cm

Gewicht: 291 g

Das Werk ist Teil der Reihe: Microsystems and Nanosystems

Produktbeschreibung

This book presents inductive and hybrid levitation micro-systems and their applications in micro-sensors and –actuators. It proposes and discusses analytical and quasi-finite element techniques for modeling levitation micro-systems based on the Lagrangian formalism. In particular, micro-bearings, -actuators, -accelerators and –accelerometers based on inductive levitation are comprehensively described with accompanying experimental measurements.