Poletkin

Levitation Micro-Systems

Applications to Sensors and Actuators

Springer International Publishing

ISBN 978-3-030-58908-0

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Bibliografische Daten

eBook. PDF

2020

IX, 174 p. 93 illus., 91 illus. in color..

In englischer Sprache

Umfang: 174 S.

Verlag: Springer International Publishing

ISBN: 978-3-030-58908-0

Weiterführende bibliografische Daten

Das Werk ist Teil der Reihe: Microsystems and Nanosystems

Produktbeschreibung

This book presents inductive and hybrid levitation micro-systems and their applications in micro-sensors and -actuators. It proposes and discusses analytical and quasi-finite element techniques for modeling levitation micro-systems based on the Lagrangian formalism. In particular, micro-bearings, -actuators, -accelerators and -accelerometers based on inductive levitation are comprehensively described with accompanying experimental measurements.

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