Micro- and Nano-Systems in 21st-Century
Designs, Developments, Applications and Perspective
Springer
ISBN 9789819646586
Standardpreis
Bibliografische Daten
Fachbuch
Buch. Hardcover
2025
33 s/w-Abbildungen, 83 Farbabbildungen.
In englischer Sprache
Umfang: viii, 308 S.
Format (B x L): 15,5 x 23,5 cm
Verlag: Springer
ISBN: 9789819646586
Weiterführende bibliografische Daten
Das Werk ist Teil der Reihe: Springer Tracts in Electrical and Electronics Engineering
Produktbeschreibung
Autorinnen und Autoren
Kundeninformationen
Covers the principles, operation, and applications of the modern 21st century micro-nano devices and systems Addresses fabrication technologies such as CMOS-MEMS, Piezoelectric, and other special MEMS processes Designed to provide a didactic approach to explaining scientific facts and figures in more lucid ways
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