Meixner

Laserfunktionalisierung von nasschemisch applizierten piezoelektrischen Blei-Zirkonat- Titanat-Schichten

Apprimus Wissenschaftsver

ISBN 978-3-86359-395-7

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Bibliografische Daten

Buch. Softcover

2016

Umfang: 166 S.

Format (B x L): 14.6 x 20.8 cm

Gewicht: 243

Verlag: Apprimus Wissenschaftsver

ISBN: 978-3-86359-395-7

Produktbeschreibung

In dieser Arbeit wird ein laserbasiertes Verfahrens zur Herstellung piezoelektrischer Schichten aus Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) entwickelt. Die konventionellen Prozesse zur thermischen Nachbehandlung der Schichten werden dabei durch laserbasierte Trocknung, Pyrolyse und Kristallisation ersetzt. Wesentliche Vorteile der Lasernachbehandlung sind ein ortsselektiver Energieeintrag, der die Anwendung auf temperaturempfindlichen Substraten und Baugruppen ermöglicht, sowie die Inline-Fähigkeit.

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