Erschienen: 29.02.2016 Abbildung von Meixner | Laserfunktionalisierung von nasschemisch applizierten piezoelektrischen Blei-Zirkonat- Titanat-Schichten | 2016

Meixner

Laserfunktionalisierung von nasschemisch applizierten piezoelektrischen Blei-Zirkonat- Titanat-Schichten

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2016. Buch. 166 S. Softcover

Apprimus Wissenschaftsver. ISBN 978-3-86359-395-7

Format (B x L): 14.6 x 20.8 cm

Gewicht: 243 g

Produktbeschreibung

In dieser Arbeit wird ein laserbasiertes Verfahrens zur Herstellung piezoelektrischer Schichten aus Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) entwickelt. Die konventionellen Prozesse zur thermischen Nachbehandlung der Schichten werden dabei durch laserbasierte Trocknung, Pyrolyse und Kristallisation ersetzt. Wesentliche Vorteile der Lasernachbehandlung sind ein ortsselektiver Energieeintrag, der die Anwendung auf temperaturempfindlichen Substraten und Baugruppen ermöglicht, sowie die Inline-Fähigkeit.

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