Erschienen: 12.12.2018 Abbildung von Hilleringmann | Silizium-Halbleitertechnologie | 7. Auflage | 2018 | beck-shop.de
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Hilleringmann

Silizium-Halbleitertechnologie

Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

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7., korr. und verb. Aufl. 2019. 2018

Springer Fachmedien Wiesbaden. ISBN 978-3-658-23444-7

Das Werk ist Teil der Reihe: Springer Vieweg

Produktbeschreibung

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert.

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