Grafik für das Drucken der Seite Abbildung von Esashi | 3D and Circuit Integration of MEMS | 1. Auflage | 2021 | beck-shop.de

Esashi

3D and Circuit Integration of MEMS

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Fachbuch

Buch. Hardcover

2021

528 S. 36 s/w-Abbildungen, 36 Farbabbildungen, 28 s/w-Tabelle.

In englischer Sprache

Wiley-VCH. ISBN 978-3-527-34647-9

Format (B x L): 17 x 24,4 cm

Gewicht: 1130 g

Produktbeschreibung

This book introduces technologies for microsystem packaging and heterogeneous integration comprehensively and systematically. It focuses on the silicon MEMS which have been used in large volume and the technologies concerning system integration. The topics include bulk micromachining, surface micromachining, CMOS-MEMS, wafer Interconnection, Wafer bonding and Sealing.

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