Erschienen: 13.08.2018 Abbildung von Claeys / Simoen | Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies | 2018 | Origin, Characterization, Cont...
eBook

Claeys / Simoen

Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies

Origin, Characterization, Control, and Device Impact

2018. eBook , eBook. PDF

Springer-Verlag GmbH. ISBN 978-3-319-93925-4

In englischer Sprache

Das Werk ist Teil der Reihe: Springer Series in Materials Science

Produktbeschreibung

This book provides a unique review of various aspects of metallic contamination in Si and Ge-based semiconductors. It discusses all of the important metals including their origin during crystal and/or device manufacturing, their fundamental properties, their characterization techniques and their impact on electrical devices' performance. Several control and possible gettering approaches are addressed.
The book offers a valuable reference guide for all researchers and engineers studying advanced and state-of-the-art micro- and nano-electronic semiconductor devices and circuits. Adopting an interdisciplinary approach, it combines perspectives from e.g. material science, defect engineering, device processing, defect and device characterization, and device physics and engineering.

Gesamtwerk

Die 8. Auflage ist wieder auf sechs Bände angelegt. Darin finden sich übersichtlich und in systematischer Gliederung Vertragsmuster aus der Feder erfahrener Experten. Jedem dieser Muster folgen Anmerkungen, mit denen der dem Vertragsentwurf zu Grunde liegende Sachverhalt und die Gründe für die Wahl des spezifischen Formulars erläutert werden.

Autoren

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