Skalierbarkeit von Rolle-zu-Rolle-UV-Nano-Imprint-Prozessen

Kontinuierliche UV-Nanoimprint-Prozesse sind hinsichtlich ihrer Ausbringungsmenge kaum wettbewerbsfähig. Die Erschließung des wirtschaftlichen Potentials bedarf FuE-Aufwand. Die Dissertation fokussiert die Identifikation qualitätsrelevanter Prozessgrößen im Hinblick auf die Skalierung der Produktionsmenge. Eine Vorgehensweise zur iterativen Produktionssteigerung wird erarbeitet. Es wird untersucht inwieweit Replikationsfehler durch die Modifikation der Prozessgrößen kompensiert werden können.