Erschienen: 31.03.1992 Abbildung von Valiev | The Physics of Submicron Lithography | 1992

Valiev

The Physics of Submicron Lithography

lieferbar ca. 10 Tage als Sonderdruck ohne Rückgaberecht

ca. 235,39 €

inkl. Mwst.

1992. Buch. xi, 493 S. Bibliographien. Hardcover

Springer. ISBN 978-0-306-43578-2

Format (B x L): 17,8 x 25,4 cm

Gewicht: 2600 g

In englischer Sprache

Das Werk ist Teil der Reihe: Microdevices

Produktbeschreibung

This book is devoted to the physics of electron-beam, ion-beam, optical, and x-ray lithography. The need for this book results from the following considerations. The astonishing achievements in microelectronics are in large part connected with successfully applying the relatively new technology of processing (changing the prop­ erties of) a material into a device whose component dimensions are submicron, called photolithography. In this method the device is imaged as a pattern on a metal film that has been deposited onto a transparent substrate and by means of a broad stream of light is transferred to a semiconductor wafer within which the physical structure of the devices and the integrated circuit connections are formed layer by layer. The smallest dimensions of the device components are limited by the diffraction of the light when the pattern is transferred and are approximately the same as the wavelength of the light. Photolithography by light having a wavelength of A ~ 0.4 flm has made it possible to serially produce integrated circuits having devices whose minimal size is 2-3 flm in the 4 pattern and having 10-105 transistors per circuit.

Gesamtwerk

Die 8. Auflage ist wieder auf sechs Bände angelegt. Darin finden sich übersichtlich und in systematischer Gliederung Vertragsmuster aus der Feder erfahrener Experten. Jedem dieser Muster folgen Anmerkungen, mit denen der dem Vertragsentwurf zu Grunde liegende Sachverhalt und die Gründe für die Wahl des spezifischen Formulars erläutert werden.

Autoren

  • Dieses Set enthält folgende Produkte:
      Auch in folgendem Set erhältlich:
      • nach oben

        Ihre Daten werden geladen ...