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Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

Springer Book Archives
1994. Buch. 126 S.: 7 s/w-Tabelle, Bibliographien. Softcover
Springer ISBN 978-3-540-58511-4
Format (B x L): 14,8 x 21 cm
Gewicht: 220 g
Das Werk ist Teil der Reihe:
zur Substratoberfliiche wird dort ein Teilchen­ beschuB ennoglicht.

Zielgruppe

Research

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