Polygonscannerbasierte Hochleistungs-Ultrakurzpuls-Laserstrukturierung

Diese Dissertation befasst sich mit der Skalierung der Produktivität beim UKP-Laserabtrag. Das hierfür entwickelte Polygonscannersystem ermöglicht Scangeschwindigkeiten bis zu 360 m/s, wodurch selbst bei Repetitionsraten im Bereich mehrerer Megahertz sinnvolle Puls-zu-Puls Abstände möglich werden. Für dieses System konnte ein statistisches Fehlermodell zur Modellierung der systembedingten Geometrieabweichungen des Schichtabtrags und eine Möglichkeit zur Kompensation dieser gezeigt werden.