Erschienen: 05.03.2008 Abbildung von Mertens / Meuris / Heyns | Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces VIII | 2008 | Selected, peer reviewed papers...

Mertens / Meuris / Heyns

Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces VIII

Selected, peer reviewed papers from the 8th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS) held in Antwerp, Belgium, September 18-20, 2006

lieferbar, ca. 10 Tage

256,80 €

inkl. Mwst.

2008. Buch. 400 S. Softcover

Trans Tech Publications. ISBN 978-3-908451-46-4

Format (B x L): 17 x 24 cm

Gewicht: 800 g

In englischer Sprache

Produktbeschreibung

Volume is indexed by Thomson Reuters CPCI-S (WoS).
This collection of 86 peer-reviewed papers covers all aspects of the use of ultra-clean technology for large-scale integration on semiconductors, and cleaning and contamination-control in both front-end-of-line (FEOL) and back-end-of-line (BEOL) processing.

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