Erschienen: 05.10.2018 Abbildung von Mertens / Meuris / Heyns | Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XIV | 2018 | 14th International Symposium o... | Volume 282

Mertens / Meuris / Heyns

Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XIV

14th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (14th UCPSS 2018)

2018. Online-Produkt , Digital. 356 S

Trans Tech Publications. ISBN 978-3-0357-2417-2

Format (B x L): 12,5 x 14,2 cm

Gewicht: 200 g

In englischer Sprache

Das Werk ist Teil der Reihe: Solid State Phenomena; Volume 282

Produktbeschreibung

The 14th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (14th UCPSS 2018, Leuven, Belgium, September 3-5, 2018) was organized by IMEC and the scope of this symposium includes all issues related to contamination, cleaning and surface preparation in mainstream large-scale Integrated Circuit manufacturing. This collection will be interesting and useful for experts in the field of microelectronics.

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