Mertens / Meuris / Heyns

Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XIV

14th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (14th UCPSS 2018)

lieferbar, ca. 7-10 Tage

Rezensionen ansehen

Standardpreis

240,75 €

Preisangaben inkl. MwSt. Abhängig von der Lieferadresse kann die MwSt. an der Kasse variieren. Weitere Informationen

auch verfügbar als Buch (Softcover) für 294,25 €

Online-Produkt

Digital

2018

356 S.

In englischer Sprache

Trans Tech Publications. ISBN 978-3-0357-2417-2

Format (B x L): 12,5 x 14,2 cm

Gewicht: 200 g

Das Werk ist Teil der Reihe: Solid State Phenomena; Volume 282

Produktbeschreibung

The 14th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (14th UCPSS 2018, Leuven, Belgium, September 3-5, 2018) was organized by IMEC and the scope of this symposium includes all issues related to contamination, cleaning and surface preparation in mainstream large-scale Integrated Circuit manufacturing. This collection will be interesting and useful for experts in the field of microelectronics.