Mertens / Meuris / Heyns

Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XIV

14th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (14th UCPSS 2018)

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Buch. Softcover

2018

356 S.

In englischer Sprache

Trans Tech Publications. ISBN 978-3-0357-1417-3

Format (B x L): 17 x 24 cm

Gewicht: 150 g

Produktbeschreibung

The 14th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (14th UCPSS 2018, Leuven, Belgium, September 3-5, 2018) was organized by IMEC and the scope of this symposium includes all issues related to contamination, cleaning and surface preparation in mainstream large-scale Integrated Circuit manufacturing. This collection will be interesting and useful for experts in the field of microelectronics.