Erschienen: 05.10.2018 Abbildung von Mertens / Meuris / Heyns | Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XIV | 2018 | 14th International Symposium o... | Volume 282

Mertens / Meuris / Heyns

Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XIV

14th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (14th UCPSS 2018)

2018. Buch. 356 S. Softcover

Trans Tech Publications. ISBN 978-3-0357-1417-3

Format (B x L): 17 x 24 cm

Gewicht: 150 g

In englischer Sprache

Das Werk ist Teil der Reihe: Solid State Phenomena; Volume 282

Produktbeschreibung

The 14th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (14th UCPSS 2018, Leuven, Belgium, September 3-5, 2018) was organized by IMEC and the scope of this symposium includes all issues related to contamination, cleaning and surface preparation in mainstream large-scale Integrated Circuit manufacturing. This collection will be interesting and useful for experts in the field of microelectronics.

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