Erschienen: 20.01.2015 Abbildung von Gatzen / Saile / Leuthold | Micro and Nano Fabrication | 2015

Gatzen / Saile / Leuthold

Micro and Nano Fabrication

Tools and Processes

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2015. Buch. xxvi, 519 S. 303 s/w-Abbildungen, 54 Farbabbildungen, 25 s/w-Tabelle, Bibliographien. Hardcover

Springer. ISBN 978-3-662-44394-1

Format (B x L): 15,5 x 23,5 cm

Gewicht: 979 g

In englischer Sprache

Produktbeschreibung

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.

Gesamtwerk

Die 8. Auflage ist wieder auf sechs Bände angelegt. Darin finden sich übersichtlich und in systematischer Gliederung Vertragsmuster aus der Feder erfahrener Experten. Jedem dieser Muster folgen Anmerkungen, mit denen der dem Vertragsentwurf zu Grunde liegende Sachverhalt und die Gründe für die Wahl des spezifischen Formulars erläutert werden.

Autoren

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