Erschienen: 30.09.2018 Abbildung von Claeys / Simoen | Metal Impurities in Silicon and Germanium-Based Technologies | 1. Auflage | 2018 | beck-shop.de

Claeys / Simoen

Metal Impurities in Silicon and Germanium-Based Technologies

Origin, Characterization, Control and Device Impact

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Fachbuch

Buch. Hardcover

2018. 2018

75 schwarz-weiße Abbildungen, Bibliographie. Book.

In englischer Sprache

Springer-Verlag GmbH. ISBN 978-3-319-93924-7

Format (B x L): 16 x 24.1 cm

Gewicht: 869 g

Das Werk ist Teil der Reihe: Springer Series in Materials Science

Produktbeschreibung

This book provides a unique review of various aspects of metallic contamination in Si and Ge-based semiconductors. It discusses all of the important metals including their origin during crystal and/or device manufacturing, their fundamental properties, their characterization techniques and their impact on electrical devices' performance. Several control and possible gettering approaches are addressed.
The book offers a valuable reference guide for all researchers and engineers studying advanced and state-of-the-art micro- and nano-electronic semiconductor devices and circuits. Adopting an interdisciplinary approach, it combines perspectives from e.g. material science, defect engineering, device processing, defect and device characterization, and device physics and engineering.

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