Erschienen: 31.01.1993 Abbildung von Brodie / Muray | The Physics of Micro/Nano-Fabrication | 1992 | 1993

Brodie / Muray

The Physics of Micro/Nano-Fabrication

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inkl. Mwst.

1992 1993. Buch. xx, 622 S. Bibliographien. Hardcover

Springer. ISBN 978-0-306-44146-2

Format (B x L): 17,8 x 25,4 cm

Gewicht: 3290 g

In englischer Sprache

Das Werk ist Teil der Reihe: Microdevices

Produktbeschreibung

In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.

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