Erschienen: 28.06.2012 Abbildung von Bogdanowicz | Photomodulated Optical Reflectance | 2012 | A Fundamental Study Aimed at N...

Bogdanowicz

Photomodulated Optical Reflectance

A Fundamental Study Aimed at Non-Destructive Carrier Profiling in Silicon

2012. Buch. xxiv, 204 S. Bibliographien. Hardcover

Springer. ISBN 978-3-642-30107-0

Format (B x L): 15,5 x 23,5 cm

Gewicht: 508 g

In englischer Sprache

Das Werk ist Teil der Reihe: Springer Theses

Produktbeschreibung

One of the critical issues in semiconductor technology is the precise electrical characterization of ultra-shallow junctions. Among the plethora of measurement techniques, the optical reflectance approach developed in this work is the sole concept that does not require physical contact, making it suitable for non-invasive in-line metrology. This work develops extensively all the fundamental physical models of the photomodulated optical reflectance technique and introduces novel approaches that extend its applicability from dose monitoring towards detailed carrier profile reconstruction. It represents a significant breakthrough in junction metrology with potential for industrial implementation.

Gesamtwerk

Die 8. Auflage ist wieder auf sechs Bände angelegt. Darin finden sich übersichtlich und in systematischer Gliederung Vertragsmuster aus der Feder erfahrener Experten. Jedem dieser Muster folgen Anmerkungen, mit denen der dem Vertragsentwurf zu Grunde liegende Sachverhalt und die Gründe für die Wahl des spezifischen Formulars erläutert werden.

Autoren

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