Erschienen: 07.09.2014 Abbildung von Adams / Layton | Introductory MEMS | 2010 | 2014 | Fabrication and Applications

Adams / Layton

Introductory MEMS

Fabrication and Applications

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inkl. Mwst.

2010 2014. Buch. xvi, 444 S. 20 s/w-Tabelle, Bibliographien. Softcover

Springer. ISBN 978-1-4899-8421-0

Format (B x L): 15,5 x 23,5 cm

Gewicht: 700 g

In englischer Sprache

Produktbeschreibung

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques. Part II focuses on MEMS transducers: principles of operation, modeling from first principles, and a detailed look at commercialized MEMS devices, in addition to microfluidics. Multiple field-tested laboratory exercises are included, designed to facilitate student learning about the fundamentals of microfabrication processes. References, suggested reading, review questions, and homework problems are provided at the close of each chapter.

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is an excellent introduction to the subject, with a tested pedagogical structure and an accessible writing style suitable for students at an advanced undergraduate level across academic disciplines.

Gesamtwerk

Die 8. Auflage ist wieder auf sechs Bände angelegt. Darin finden sich übersichtlich und in systematischer Gliederung Vertragsmuster aus der Feder erfahrener Experten. Jedem dieser Muster folgen Anmerkungen, mit denen der dem Vertragsentwurf zu Grunde liegende Sachverhalt und die Gründe für die Wahl des spezifischen Formulars erläutert werden.

Autoren

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